性流体は、1960年代に全米航空宇宙局研究センターで最初に発見されました。 つまり、その研究センターでは、科学者が宇宙で液体を制御するための可能な方法を研究しており、これまでより広い分野に応用しています。

例えば、半導体、液晶ディスプレイ、太陽電池、ポリマー発光ダイオードなど。

磁性流体シール

磁性流体は、回転シャフトが低圧または高圧キャビティに入る液体Oリングとして使用できます。 磁性流体は永久磁石によって固定され、従来のメカニカルシールで発生するほとんどの摩擦を排除するために密なシールを形成します。

磁性流体シールの適用

·ウェーハ製造装置
·半導体プロセス装置（エピタキシャルエピタキシー、拡散、化学蒸着、物理蒸着、注入など）
·液晶表示プロセス装置      真空ロボット     太陽電池

一般的なアプリケーション仕様

●極端な真空：10-6 Pa（10-8トール）
●ヘリウムリークレート：1.3x10-12Pa.m3 /秒（10-11Torr.I /秒）未満
●圧力差：2.5kg / cm 2（.5気圧）
●動作温度：0°C〜200°C（高温の場合、冷却システムを使用）
●ガス適合性：反応ガスと反応ガス
●シェルとシャフトの材質：SUS303、SUS304、SUS63など。